(17−3) マイグレーション(移動)

  ここでは各種マイグレーションについて紹介する。
  化学的なものでなく物理的マイグレーションであるエレクトロ・マイグレーション等についても紹介する。


ESPEC マイグレーション
  マイグレーション現象の分類



Lienig


*半導体では熱機械的応力すなわち熱膨張率差による引張応力(応力勾配)によるものをストレスマイグレーションとする。
  また一般的には温度勾配によるものを熱マイグレーション(熱拡散)という。


(16−7−1) イオン・マイグレーション(電気化学マイグレーション)

Kester









ESPEC マイグレーション
 


  加速因子


  加速因子:Pourbaix図


  加速因子:酸化エネルギー



  加速因子:湿度


  加速因子:電圧


  はんだ合金マイグレーション












JEITA
 マイグレーション
  エレクトロケミカル(イオン)マイグレーション
   水が媒体となって電界下で金属イオン移動が生じる電気化学現象。
  エレクトロマイグレーション
   電子が要因の金属原子の移動である物理現象。

 イオン・マイグレーションの種類
  デンドライト・・基板表面への金属析出
  CAF(導電性アノードフィラメント)・・基板の繊維と含浸樹脂の隙間に電極成分(主にCu)が入り込んで析出
  部品等の内部マイグレーション
 試験評価法
  恒温恒湿試験・・実環境より高い温湿度で加速試験、加速係数の見積もりが課題。
  HAST(高度加速温湿度ストレス試験、不飽和のプレッシャークッカー試験)・・
    プレッシャークッカー試験は100℃以上の加圧水蒸気雰囲気での試験。
    HASTは結露を防ぐ場合85℃、85%が普通。
  温湿度サイクル試験、結露サイクル試験
  ウォータードロップ試験(脱イオン水滴下法、WD法)
   電極間に水を滴下。各要因の相対評価、短試験時間で結果が出る、市場環境と合わない。
  希薄電解液浸漬法・・イオン交換水のかわりに希薄電解液
  ろ紙給水法・・電極間に脱イオン水を含ませたろ紙を置く。

  はんだ:SAC






水滴滴下試験WD



 ECM 竹本
  純水でのはんだ合金のECM試験、










スリーボンド 金属の組み合わせ
 70℃、98%、1mm間隔、セラミックまたはガラス上
 




Tanaka








Medgyes
 ECM


     


   







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