(11−4−3) 無電解Ni−Pの界面反応層
無電解Ni−Pの界面反応層
Ni基体として実際に利用されるは無電解Ni(P)/Au、電解Ni/Au、スパッタNi/AuなどでいずれもNiの上に
酸化に対する保護層としてAuが形成される。
特によく利用される無電解Ni(P)/AuはNiにPが含まれるためにはんだと複雑な反応をする。
Cuを含有しないはんだではまずNi3Sn4が形成されるが、これによりNi(P)層のNi消費によりPリッチ層が形成され
はんだ|Ni3Sn4|Ni3P(Pリッチ層)|Ni(P)
のような構造となるが、Pリッチ層の構造は複雑である。
LiuらのSnPb
Matsuki
Laurila
Vuorinen
Cuを含有したはんだでは
はんだ|(Cu,Ni)6Sn5|NiSnP|Ni3P|Ni(P)
が形成される。
IMCは(Cu,Ni)6Sn5と考えられる。(Cuは40原子%、(Ni,Cu)3Sn4へのCuの固溶量はそれほど多くない)
(Cu,Ni)6Sn5中に(Ni,Cu)3Sn4が析出
IMCとNi(P)の間に2層存在。Ni(P)側はNi3P(黒い層)。
その上の暗い部分のPリッチ層はSn−Ni−Pよりなる層。
各種 Shao
UBM Cr−Cu、Ni/P SnPb、SnAg、SnSb、SAC、
Kim Sungkyunkwan
SAC305と無電解Ni/Au(0.15μm)、Ni-PのPは15原子%。
Sharif
Sn−Ag−Cu、Sn−Ag
SAC355、Sn−3.5Ag、φ0.76mm、Cu/Ni(P)/Au
Sohn
SAC305では(Ni,Cu)3Sn4とあるいはまたは(Cu,Ni)6Sn5が形成され剥離あるいは界面破壊は起きない。
Sn−3.5AgではNi3Sn4が形成され、この剥離でNi3SnPが厚くなりここを経由して脆性破壊が起きるのでIMC剥離の制御が重要。
Kang
Sn−3.5Ag無電解とNi/0.15μmAu
PリッチNi層およびこれとNi3Sn4層の間のNi−Sn−P IMCについて
Jeon KAIST
Sn−3.5Ag、SAC405、Sn0.7Cuと無電解Ni(11−13at%)/0.08μmAu
SnAgでNi3Sn4の剥離、脆性破壊の原因
Jeon
無電解Ni(11−13at%P)/0.08μmAu、SAC405
Ni−PへのNi含有はんだ Saliza
SAC305+0.05Ni、無電解Ni/Pd/Au
Ni含有はんだがIMC成長速く、先にIMC剥離が生じる。
Kumar
Sn−3.5AgをCu/無電解Ni−P/0.05Auサンドイッチ
Ni−P厚み:3.5、7.3、9.9、Pは16at%、250℃、60秒リフロー。
Ni−Pが薄いと、Ni−PがNi3Pとなり下地のCu拡散でNiがCuで置換され(Ni,Cu)3Sn4となる
Kumar
Cu上の無電解Ni/AuをSn-3.5Agで、250℃、60秒
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