Pbフリーはんだの金属学的基礎
(6−3) Sn−In系
SnIn
Finkら
によるとInはSnに1.5%固溶、一方SnはInに10%固溶しうるという。
(6−3−1) 金属Inの特徴
Inは軟らかい
偏析による低融点相形成、熱サイクルと偏析、相変態、収縮
InはAuとAuIn2の連続層を形成するためInを含有するはんだはAuを溶解しにくいため、
Auコート部品にIn含有はんだが推奨される。(
荘司ら
)
ボンディング
In7Ni3
非金属への
台湾大Liu
液体InとAu
300℃、5分
Kim
InとCu、Ni
d couple
Chang
バルク・インジウム
(6−3−2) Sn-In系の組織と特性
北大
中国
Sn−25In
β相領域
(β+γ)組織をを(液相+γ)温度でアニール
Sn−52In
台湾
Cuとの界面には低温ではCu2In3Sn/Cu2(Sn,In)またはCu17Sn9In24/Cu26Sn13In8の2層で
高温ではCu3(In,Sn)とCu6(in,Sn)の2層という。
Daghfal
Cuとの界面
Cu側から24.4In−27.9Sn−47.7Cu、51.8In−20.0In−28.2Cuの2層。
Cu/共晶Sn−In/Cu
テセラのグループによると
韓国弘益大のChoiら
48Sn−52InバンプとTi(0.1μm)/Cu(1.5μm)/Au(0.1μm)のUBMの150℃、1分のリフロー
による接合ではCu層はほとんどIMC化するという。
Morris
表面処理
→
Indium
(6−3−3) Sn−In−X(Ag、Cu)
→
Sn-In-Ag
Sn−10.0In−3.1Ag、Sn−20In−2.8Ag(118℃問題)
Indalloy
台湾
Sn−20in−0.8CuとAu/Ni/Cuパッド
Cu6(Sn,In)5
Sn−Ag−In
Cu(スパッタ0.2μm)/Cu(電解5μm)/Sn−Ag(電解40μm)/In(電解5μm)
N2で260℃、30分でリフローしバンプ化
Sn−Ag−In 2
中国科学院の王らによると
スパッタTiW(0.05)/Cu(0.2)→電解Cu(5)、Sn−Ag(40)、In(4−5)
リフローは260℃、30分
IMC3:Ag2In IMC2:Cu6(Sn,In)5 IMC1:Cu3(Sn,In)
Sn-20In-2.8Ag
とCu/Ag置換(0.2)
Sn−20In−2Ag−0.5Cu
電解Ni(10)/Au(0.7)
Sn−20In−2Ag−0.5Cuで液相線と固相線が166−179℃
クリープ Hua プレゼン
Yeh
Song
mp:Sn−10In−3.1Ag 201−204℃
Sn−In−Cu
Φ0.4mmのボールSn−20In−0.8Cuと電解Ni(5)/Au(0.5)
界面のIM1PはCu6(Sn,In)5+Ni3(Sn,In)4でバルクのIM2PはAuSn2を置換した(Au,Cu)(In,Sn)2であるとする
Sn−Ag−In−Cu
Sn−低In+X
北大
(6−3−4)
Sn−In−Au
(6−3−5) Sn−X−Y(X,Y=Bi、Zn、In)
東北大・大沼ら
の
ルーベン・カトリック大のグループ
に
Sn−Zn−In
koko
ポーランド
Sn−Zn−In
中国
Sn−8Zn−20In
また
これ
McCormack
Sn-9Zn-5In188
Sn−In−Bi
Sn−54Bi−9In
Sn−54Bi−9In
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