（Ａ) バルクＡｕ
Liou Liou
拡散対
Sn-9Zn/Auで160℃で6、24、72、800ｈ
Sn-9Zn-1Cu/Auで160℃で6、24、72、800ｈ
Ｌｉｎ
Ｓｎ−ｘＺｎ／Ａｕ
Ｓｎ−１Ｚｎ
６、２４、７２、１４４ｈ
Ｓｎ−３Ｚｎ
Ｓｎ−ｘＺｎ／Ａｕ拡散対 １６０℃エージングでの組成による生成ＩＭＣ相
| エージング時間＼Ｚｎ組成 | 1Zn | 3Zn | 5Zn | 7Zn | 9Zn | 12Zn |
| 6 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSnZn+AuZn AuZn |
AuSnZn+AuZn AuZn |
Au3Zn7 AuZn |
| 24 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn+AuZn2 |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn+AuZn2 |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
| 72 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSnZn AuZn2 AuSn2 AuZn AuSn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
| 144 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSnZn AuZn2 AuSn2 AuZn AuSn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
| 500 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSnZn AuZn2 AuSn2 AuZn AuSn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
| 800 | AuSn4 AuSn2 AuSn |
AuSn4 AuSnZn AuSn2 AuSn |
AuSnZn AuZn2 AuSn2 AuZn AuSn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
AuZn3 Au3Zn7 AuZn |
反応時間と厚み
Lin
| ＳｎとＡｕ | １２０−２００℃ １２−２００ｈ |
ＡｕＳｎ４、ＡｕＳｎ２、ＡｕＳｎ | Ｃｈｅｎ ２００１ Ｊａｏ Ｙｅｎ |
| Ｓｎ−８ＺｎとＣｕ／Ｎｉ／Ａｕ | リフロー上がり | ＡｕＺｎ | Ｋｉｍ |
| １５０℃ ３００−９００ｈ |
ＡｕＺｎ、Ｎｉ５Ｚｎ２１ | ||
| Ｓｎ−９ＺｎとＣｕ／Ｎｉ／Ａｕ | リフロー上がり | ＡｕＺｎ８ | Ｄａｔｅ |
| １７５℃ 〜２４ｈ |
Ａｕ３Ｚｎ７＋ＡｕＺｎ３→ＡｕＺｎ４→ＡｕＺｎ８ | Ｃｈａｎｇ | |
| １７５℃ ２４−１２００ｈ |
ＡｕＺｎ８→ＡｕＺｎ４→ＡｕＺｎ３＋Ａｕ３Ｚｎ７ | ||
| ７０−１８０℃ −２４００ｈ |
ＡｕＺｎ３、Ｎｉ５Ｚｎ２１ | Ｙｏｏｎ | |
| Ｓｎ−１．５ＺｎとＡｕ | １２５℃ 〜６００ｈ |
Ａｕ−Ｓｎ ２相 | Ｌｉｕ |
| Ｓｎ−３．５ＺｎとＡｕ | １２５℃ 〜９６ｈ |
Ａｕ−Ｓｎ ２相 | |
| １２５℃ ９６−６００ｈ |
Ａｕ−Ｚｎ ２相 | ||
| Ｓｎ−９ＺｎとＡｕ | １２５℃ 〜６００ｈ |
Ａｕ−Ｚｎ ２相 | |
| Ｓｎ−９ＺｎとＡｕ | １６０℃ ２４ｈ |
Ａｕ３Ｚｎ７、ＡｕＺｎ２、ＡｕＺｎ | Liou |
| Ｓｎ−８Ｚｎ−３ＢｉとＡｕ Ｓｎ−９Ｚｎ−ＡｌとＡｕ |
リフロー上がり | ＡｕＺｎ３ | Ｈｓｉ |
| １５０℃ ２００−１１００ｈ |
ＡｕＺｎ８ |
Liou
Ｌｉｕ中国 Ａｕ箔
（B) Ｎｉ／Ａｕ
日立金属
無電解Ｎｉ／０．０５Ａｕ
Ｊee韓国 Ni 無電解０．０５Ａｕ
Ｙｅｎ台湾 電解Ｎｉ／０．０９Ａｕ
秋田大 無電解 ０．１Ａｕ
無電解Ｎｉ／０．１μｍＡｕ、Ｐ＝０、２、４、８ｗｔ％、Ｓｎ−９Ｚｎ
Ｙｏｏｎ 韓国 Ｙｏｏｎ
Ｓｎ−９Ｚｎ ＢＧＡ Ｎｉ−Ｐ／０．１５Ａｕ
５０３Ｋピーク
Ｋｉｍ
Ｓｎ−８Ｚｎ−３Ｂｉ、Ｎｉ／０．５Ａｕ
Ｇａｉｎ
Ｓｎ−９Ｚｎ、Sn-8Zn-3Bi、電解Ｎｉ／０．５μｍＡｕ、２４５℃
Ｃｈａｎｇ ＳｎＺｎＡｌ Ｎｉ／Ａｕ
電解Ｎｉ／Ａｕ Ａｕ：０．５−０．７μｍ
杉崎 メルテックス 日本語 無電解Ｎｉ／Ａｕ
Ｓｎ−Ｚｎ 反応層はＡｕＺｎ３
Ｓｎ−Ｚｎ−Ｂｉ 反応層はＡｕＺｎ３とＢｉ
Ｄａｔｅ ＳｎＺｎ ＳｎＺｎＢｉ Ｃｕ、Ｎｉ（Ｐ）／Ａｕ
γＣｕ５Ｚｎ８
Ｈｅｎｋｅｌ 不明点多し
Ｋｉｍ
Sn-ZnとCu/Ni/Au
最初ＡｕＺｎが形成されるがエージング（１５０℃、６００ｈ）でＮｉ５Ｚｎ２１の３層となる。
（Ｃ） Ａｇ
Ｚｏｕ中国 Ａｇ基板
Ｊａｏ Ｓｎ−Ｚｎ／Ａｇ Ｓｎ−Ｚｎ−Ａｇ
Ｊｅｅ Jee Korea ImAg
約２μｍの置換Ａｇ
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