(11−8−4) 溶解度の大きい金属(Au、Ag、Cu、Pd)と小さい金属(Ni、Pt、Co、Fe)間での交互作用
王博士論文
Au/Sn/Cu、Ag/Sn/Cuに影響が見られる。
250℃リフロー
Chang
固相反応Au/Sn/Cu
Shin Auスタッド・バンプ|SnAg|CuまたはCu/Ni/Au
SnとPt
対向Cu基体はPt基体での形成相には影響を与えないが速度に影響、遅くする。
Sn/Pt 250℃、10s、30s、1m、5m、10m、20m、30m、1h Sn/Cu
Lu
Sn:150μm厚み、サンドイッチをリフロー。
Cu/Sn/Pd
Pd側は(Pd,Cu)Sn4、 成長速度はSn/Pd単独と同じ。
Ni/Sn/Pd
長時間リフローでSn/Ni側でNi3Sn4の上に(Pd,Ni)Sn4が生成。
Wang Cu/Sn/Co
75-580μm電解Sn、電解Co、拡散対、電解めっきで製作。
Ratchev
3μmCo Co|Sn|Ni/Au
Labie
Co|Sn|Ni/0.15μmAu
リフローでCoSn2形成、上に(Au,Co)Sn4の連続層
Ti/Ni/Ag
Ti/Ni/Ag|SAC307|Au/NiP/Cu
ダイオードはTi/Ni/Agでおのおの0.15、0.25、2μm
MOSFETはAl/Ti/Ni/AgでTi/Ni/Agは0.15、1、0.6μm
ダイオード/はんだ
Yan
Auー20SnとIn−48Snを無電解3Ni/0.2Auと0.2Ti/2Au
Tiの反応層は見えない。
Hooghan 2003
下地Crは150nm、Cr−Cuは純Crから純Cuの傾斜組成(同時デポ)で300nm。Cuは150、600、1000nm。
Au(厚み?)のあと95PbSnはんだを蒸着。基板のFCパッドには2.5μmの共晶組成Sn−Pbをコート。
約340℃でバンプ化したダイを220℃の窒素雰囲気で基板とリフロー。
150℃で加速試験。
Cr層が1.5〜3μmと厚くなっている。
Ronnie
PtとNi−P
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